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这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。
涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。分子泵叶片破碎的原因：答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：①、误操作。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
在高真空或超高真空范围的应用中，比如分析仪器中的质谱/光谱、真空镀膜、真空冶金、半导体技术等，分子泵经常用于获得所需真空度，VARIAN TV301分子泵销售电话高品质的无油隔膜泵可以获得分子泵（带分子拖动级）所需的前置真空，能够明显地改善所获得真空的清洁度，在许多情况下，这种无油的清洁真空是必须的。产品研发至量产的过程中，通过多项控制措施和准确，以及各种严苛的测试，根据这些测试测结果，对物理结构、控制器、控制软件、生产流程、调试方法等都进行了改进，确保终的产品性能***、质量可靠，对外发布的各项数据准确可信。
3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。
5、分子泵入口应装设防护网，以避免***进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
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轴封发热填料压得太紧或磨擦
处理方法：放松填料，检查水封管；
水封圈与水封管错位
处理方法：重新检查对准；
冲洗、冷却不良
处理方法：检查冲洗冷却循环管；
机械密封有故障
处理方法：检查机械密封。
正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因：过热，负载大
解决措施：检查冷却系，检查系统
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？
原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
