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根据物质的光谱来鉴别物质及确定它的化学组成和相对含量的方法叫光谱分析．其优点是灵敏，迅速．历史l上曾通过光谱分析发现了许多新元素，如铷，铯，氦等．根据分析原理光谱分析可分为发射光谱分析与吸收光谱分析二种；采用真空光室减少了光谱仪吹扫气体的需要ICPE-9000在同类型ICP仪器中首先使用真空光室，无需高纯度气体进行吹扫，从而降低了运行成本。根据被测成分的形态可分为原子光谱分析与分子光谱分析。光谱分析的被测成分是原子的称为原子光谱,被测成分是分子的则称为分子光谱。
X-MET7000/7500 X射线荧光光谱仪
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