过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用
需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。
人工气溶胶DOP已有近40年历史，一段时间以来，因被怀疑对人有致***作用，现常以DOS（Dioctylsebaeate 癸二酸二辛脂）亦称DEHS[di(2- ethylexyl)sebacate]及PAO（polyaphaolefin聚a烯烃）等代替，但实验方法仍称“DOP（PAO）法”。大气尘由于其浓度随地点及时间等变化，有时较高，有时较低，一般不用来作为检漏用。
按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连，测量上游气溶胶的浓度。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10 mg/L~30 mg/L。
扫描检漏卸下HEPA的散流板，对整个过滤器面、过滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
扫描时采样头距过滤器面约1英寸（约2. 54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处使用专用胶水堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5 min左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度。
