(3)扩散泵：以低压高速蒸气流（油或等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：
①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，普旭R5系列RA302D真空泵维修，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
罗茨真空泵Panda 与 Puma 罗茨泵是无油运行的真空泵，需配合前级泵使用，适用于所有需要大吸气量的粗真空和高真Panda/Puma(2张)空应用。此类加强型真空泵大大提高了前级泵的输出。
Puma/Panda 系列类型真空泵：WP/WPA（工业用、标准型）、WV（工业用、带旁通阀）、WY（半导体、气密）、WZ（半导体、带旁通阀、气密）。
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抽吸含有颗粒、尘埃的气体或胶状、水状、液体及腐蚀性的物质。不能使用。
旋片式真空泵在使用中如因系统损坏等特殊原因导致进气口突然暴露在大气时，应该尽快停泵并切断与系统连接管道，防止喷油污染场地
旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有油气分离效果的排气过渡器。
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