广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦涡轮分子泵维修中心；
工作条件
（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。
（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。
脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。
20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。当出现警告信息“EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。
水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等；根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量；叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量，有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。
油封式旋片泵（即油泵）
极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。振动频率为60%-100%工作转速，或者是密封间隙过大，护圈松动，密封磨损处理方法：检查、调整或更换密封。
泵振动或异常声响振动频率为0~40%工作转速。过大的轴承间隙，轴瓦松动，油内有杂质，油质(粘度、温度)不良，因空气或工艺液体使油起泡，润滑不良，轴承损坏处理方法：检查后，采取相应措施，如调整轴承间隙，清除油中杂质，更换新油；
我们真空泵家族经过长时间的发展，种类和应用领域都很多，每种真空泵都具有不同的特点和性能，有需要的企业可以根据各自的使用工况、真空度要求等方面因素考虑如何选取适合你们的真空泵。
