六氟化硫制备：
以长约300mm直径25mm的镍管为反应器，将盛有硫粉的镍舟置于其中，反应管与一石英阱连接，石英阱以液态氧冷却。装置的末端与一装有新脱水的KF的铁制干燥管相连，以隔离空气中的湿气。在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。硫在氟气流中燃烧，生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的KOH热溶液（不用NaOH）洗涤除去其中的杂质（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用P4O10干燥产物气体，并在室温下通过活性炭除去S2F10。
纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
红外光谱技术（IAC510）
红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。在对SF6电气设备进行更换新的SF6气体或者是检漏、检修、安装维护的时候，为了避免吸入六氟化硫，减少中i毒的可能性，配带***的面罩和呼吸器很有必要。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
充装六氟化硫气体严禁水分进入
（1）工作未开始之前，首先应测定现场周围环境空气相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是限制空气含水具体示数。测定如不合格，则应采取措施或重选干燥晴朗的天气进行充装。
（2）为使SF6泄漏气体及时排换，主尖在进行充装的同时开启通风机，认真遵守空气SF6含量不得超过1000ppm的规定。在工作开始后的一定时间内即应进行检测，并具体情况于中途再进行检侧。在工作开始后的一定时间内即应进行检测，并具体情况于中途再进行检侧。当出现SF6气体含量增i高或超过标准时，应随即对部件进行详细检查，查找原因并予以消除。
