工业有机废气的低温等离子体的治理设备
等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是pla***a，它是由美国科学 muir，于1927年在研究低气压下gong蒸气中放电现象时命名的。等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。
排放废气的治理
通过采用新型涂料、减少用量、提高涂料利用率、减少涂料使用量，有机废气处理设备可以减少涂装废气的排放。涂装废气治理时，针对的回收利用或分解，可分别采用活性炭吸附法、液体吸收法、冷凝法、燃烧法、催化燃烧法、紫外线－臭氧法、微生物分解法。上述方法中，各有各的应用特点，其中，活性炭吸附法、催化燃烧法、燃烧法、吸收法应用较多。实际应用中，还可采用几种方法的组合，使废气治理取得更好的效果。
低温等离子废气处理技术具有以下优点：放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。反应快，不受气速限制。采用防腐蚀材料。只需用电，操作极为简单。设备启动、停止十分迅速，随用随开，常温常压下即能使用。气阻小，适用于大风量的废气处理。
低温等离子废气处理技术可治理以下半导体企业生产过程中产生的废气：集成电路生产企业：主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业。分立器件生产企业：主要包括晶体二极管、三极管，整流二极管，功率二极管、化合物二极管等生产制造企业。光电组件生产企业：包括LED、OLED、LCD、光伏太阳能等的生产制造企业。
