




集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。另外,集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。冷水盘管一般为下进上出,蒸汽盘管一般为上进下出,按标识接管,以避免接管错误。
云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装***公司。
GMP净化厂房参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
温度:冬季16℃; 夏季26℃; 波动±2℃。
湿度:45-65%; GMP粉和剂车间湿度在50%左右为宜; 电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声:≤65dB(A);
新风补充量:是总送风量的10%-30%;
照度:300LX。
高水平的安徽洁净车间净化生产工艺对洁净室的生产环境要求非常严格。电子厂特别是微电子和光电行业的电子厂,对大面积云南洁净车间净化的生产环境要求不仅是:建筑围护结构、结构、空气、水、气、溶剂等原料,而且还要有声、光、电、磁、振等环境。如:建筑形式、承重高度、围护结构等装饰材料;空气清洁度、温湿度、静压;水、气的纯度和***含量以及噪声、光照、静电、电磁波、微振动等。洁净工程图纸的质量高低是关系到此洁净工程的建造成本控制等一系列净化工程重要控制目标能否达成之物。