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双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。

在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。但是在这段时间内光栅尺读数的变化率，与三座标测量机的触测速度有一定关系，触测速度快时，测针的校验直径就小，反之，触测速度慢时，测针的校验直径就大。

测量作为一个动态过程，其测量值应该考虑到从测针采点到实际向测量柜传送该点坐标值时发生的机器空间移动距离，在实际测量时，每测量一个元素，系统都可以自动区分红宝石球半径的补偿方向，计算正确的补偿半径，在采点开始后，测量机控制柜中的软件将沿着测针接触零件的方向上对红宝石球进行半径补偿。当你用测针去测量零件时，测量控制柜中的软件就会将测针的半径自动加减补偿，计算出正确的数值出来。很多报告可以自定义，并可通过内置的“剪切和粘贴”功能利用***终结果编写报告。

氮化硅

氮化硅具有许多与红宝石类似的特性。

这是一种非常坚硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球体。也可抛光为光滑的表面光洁度。

氮化硅与铝之间没有吸附性，因此不存在红宝石测球在类似场合所发生的粘附磨损现象。但氮化硅在钢材表面扫描时却具有很显著的磨擦磨损特性，因此其应用限制在铝质工件上。