电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍
1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
如需了解更多电子束产品的相关信息，欢迎关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站或拨打图片上的热点电话，我司会为您提供专业、周到的服务。
电子束蒸镀系统的特点
* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
* pocket电子枪
* 电子束源和基片遮板
* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能
* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
* 旋转样品台，提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
* PC全自动控制，具有高度的可重复性
* Labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的***访问设计
* EMO保护以及完全的安全联锁
以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。
