泵主要由泵体（7）、转子（9）和旋片（8）等零件所组成（见原理示意图）。在泵体腔内偏心地装着转子，
转子槽中装两块旋片，由于弹簧弹力作用及转子旋转所产生的离心力旋片紧巾腔壁，泵体中的进、排气只被
转子和旋片分隔成两个部分，转子在腔内旋转，周期性地将进气口部分容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐
压缩排气部分容积，将吸入气体压缩从排气阀（5）排出，因而达到抽气目的。
在机芯各部件上涂上适量真空油以便装配润滑，
装入转子
（旋片）
放好各密封圈并注意密封圈是否够压，
均匀适度拧紧端盖（此时泵油箱朝下）。装配过程中，严防灰尘、砂石、铁屑落入泵内。
c、
用皮带轮旋转转子，如旋转均匀可紧固螺钉，如不均匀可通过轻敲端盖四周某方向，再旋转，直至旋
转均匀自如为止后紧固螺钉。装配好后的泵应旋转自如均匀。
d、
把泵翻转至正常位置，装好其它外部部件，注意防尘、防污。（注：2X
泵可先装皮带轮侧转子）。
检修泵的同时还要对管道及电机进行清理和检查。
检修完的泵应进行跑合试验，跑合
4—6
小时，应检查下列项目：
一般的要求是：
1
、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2
、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
3
、抽气量、抽出气体介质、温度。
4
、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格
选用真空泵时需要注意事项：
、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求
1×
10-5mmHg
的真空度，
选用的真空泵的真空度至少要
5×
10-6mmHg
。
通常选择泵的真空度
要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
