洁净厂房的安全出口设置,应符合下列规定
洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定：1．丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于规定的安全疏散距离的1.5倍。2．工厂装修时要给每一生产层、每个防火区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行***标准《洁净厂房设计规范》的有关规定。3．安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行***标准《建筑设计防火规范》的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗.
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
洁净区内的室内装修应选用气密性良好
洁净区内的室内装修应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。洁净室墙壁和顶棚的表面应无裂缝、光洁、平整、不起灰、不落灰尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、避免眩光（如采用瓷釉漆涂层墙面和金属隔热夹芯板），阴阳角均宜做成圆角，以减少灰尘积聚和便于清洗。洁净室地面尖整体好，平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐撞击、不易积静电、易除尘清洗（如采用环氧自流平整地坪或现浇水磨石地面）。
装配式洁净室壁板的特点
装配式洁净室壁板。总特点是：装配式洁净室是当今大量采用的一种洁净室形式，特别适用于改建场合。其壁板特性因材料而异。金属类壁板除具有金属类壁板的特点外，双层填充壁板还具有隔热特点，适宜用于有空调特别是恒温要求的场合。双层填充的壁板的强度高。材料：壁板由面材和芯材组成。要根据设计对象选用。面材包括贴塑木板、铝合金板、钢板、彩色钢板等。
