在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法***早由M.法拉第于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一。
长期以来，因为国民经济的不断提高及人民生活水平的改善，极大影响了镀膜工业在国民经济的地位和作用，对于产品镀膜的要求越来越多，市场需求越来越大。
镀膜设备种类复杂，只需要按照大的工艺分常有的，比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术，按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。
我国镀膜机械，经过了几十年发展，形成了门类齐全、布局合理，品种配套，真空镀膜技术水平与镀膜工业发展基本适应的体系，真空镀膜设备已经不能再叫新行业了，其是一个有创新能力的成熟行业，镀膜技术从重污染转为轻污染直至以后的无污染，创新是前提，随着更新型节能环保的真空机械设备研发必将改变整个工业。(2)在真空条件下制备薄膜，环境清洁，薄膜不易受到污染，因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射)，晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld
为例，因素主要有：靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片，***佳参数需要实验确定，是各不相同的，镀膜设备的好坏主要在于能否精i确控温，能否保证好的真空度，能否保证好的真空腔清洁度。3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。MBE分子束外沿镀膜技术，已经
比较好的解决了如上所属的问题，但是基本用于实验研究，工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。
