爱德华iH系列真空泵维修
Edward iH series vacuum pump repair
维修型号：iH80、iH600、iH1000等 爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商，集工艺实现技术，材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用，已被正面其达到高运行标准。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的高性能，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。
针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速从80到1800立方米/小时，其中iH1800干泵是专为高排量应用而设计的。
Edwa*** E2M175 系列双级油封旋转叶片真空泵因其***限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。 这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供***的保护。
这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，安全地处理非***气体和蒸汽。
随产品提供 Ultragrade 70 油。 必须为 PFPE 准备的泵 E2M40FX、E2M80FX 和 E2M175FX 单独采购 Fomblin?。
订购信息
爱德华 E2M175 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵●E2M175 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36601935
●E2M175 208-230/460V, 3-ph, 60Hz 4 pole A36603982
●E2M175 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36601934
●E2M175FX 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36615935
●E2M175FX 208-230/460V, 3-ph, 60Hz A36616982
●E2M175FX 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36611934
●E2M175T3 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36618993
气镇
双位气镇可处理 60 g/hr 水蒸汽，或高于同类产品的 220 g/hr（在 RV12 上为 290 g/hr）水蒸汽。双位气镇与回油附件和油雾过滤器结合使用，可持续抽排而不减少润滑。安装可选购的电磁操作气镇阀后，气镇可自动工作。
电机
单个通用电机涵盖***广泛的电压与频率范围。单相电机具有外部开关，可从高压范围 (220-240 V) 调整为低压范围 (110-120 V)。通用三相电机还可用于所有机型，对于特殊应用，我们可提供装有 ATEX 认证防爆电机的泵。
入口
***的防逆流保护
? 通过油压来稳定控制打开状态，从而消除压力波动
? 在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
所有 Edwa*** RV 泵均配有入口密封件和集成式入口筛网过滤器
真空油
Edwa*** RV 泵***初装有 Ultragrade 19 号油。这一优质油品通过一系列独特添加剂专门调配，可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此，它既能提供受到极严格控制的蒸汽压力，又具有极强的***化能力，可实现较长的使用寿命。对于富氧应用，我们还提供备有 PFPE 的泵。对于备有PFPE 的泵，必须单独购买 Fomblin?。
为轻松维护而设计
? 统一尺寸的六角头扳手可拆卸所有零件
? 所有零件均可自对准，因此无需支托或特殊组件
? 不带弹簧或销的聚合物刀片更便于装配，可靠性更高
? 可在电机侧更换轴封而无需拆卸泵机构
? 切片间没有 O 型圈，更易于装配
? 所有零件均可互换，因此可单独订购
模式开关
独特的模式选择器开关专利技术可使一台泵适于多种用途，因此您只需一种机型即可用于高抽气量和高真空应用。
在高抽气量模式中，选择器开关会将油流量增加到高真空阶段，从而使泵在高入口压力下持续运行，而不会有任何磨损或润滑减少。
