真空泵应先开动水环泵
真空泵罗茨泵机组中无旁通阀时，应先开动水环泵，被抽系统中的气体由罗茨泵（气体推进罗茨泵转子自行转动，好像流量计普通）进入水环泵后再排至大气，待水环泵的吸入压力（如串联有大气泵，则为大气泵的吸入压力）到达罗茨泵的起初规则值时（即允许排气压力），始启动罗茨泵，机组正式运转，开端工作。东莞真空泵罗茨泵机组中有旁通阀时，如上图所示，先启动水环泵，接着开动罗茨泵，此时，罗茨泵进排气压差较大，旁通阀自动开启，被抽容器中的气体一局部经过旁通阀进入水环泵，另一局部在罗茨泵的作用下经过该泵也进入水环泵，显然抽气速率增加，这样很快到达罗茨泵的预真空，进排气压差较小，阀门自动关闭（或人工关闭），机组正式工作。这种办法能大大缩短预抽时间，但设备较复杂。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷能够制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等能够制造电容器，蒸发硒能够得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡能够制造磁致伸缩的起声元件等等。
