普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体,又称本体气体:氢( H2)、氮( N2)、氧( O2)、ya( A2)等。特殊气体( Specialty gas )主要为SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4N h3po cl3si h2 cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊气体的种类通常分为腐蚀性、毒性、易1燃性、助燃性、惰性等。轻拿轻放于传纸滚筒,机架或车升降机的使用,禁止直接钢丝绳吊装氧气瓶等等。特别是SiH4等一些气体具有自燃特性。 一旦发生泄漏,就会与空气中的氧反应激烈,开始燃烧。 AsH3也***性。 轻微的泄漏可能会伤害人的生命。
气体应用系统工程:电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、***输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测、维护***等***工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业。今天,ya气等气体填充所有节能中空玻璃的中空窗分与能源效率和***的安全发展方向的70条生产线混合ke气,它有巨大的潜力和广阔的发展前景。工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统***解决方案。
高纯气体对于运输的管材要求有哪些
严峻时会呈现大片金属剥离乃至穿孔,然后污染输配的纯真气体。高纯气体充装的抽空操作一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0。综上所述,高纯气体对于运输管材的要求非常重要,针对大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的联接,原则上悉数选用焊接,要求选用的管材,在施焊时安排不发作改动。含碳过高的材料在焊接时,受焊接部位的透气,使得管内外气体的相互浸透。
高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用
采用三氟化氮比四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。***概述: