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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
优点：
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至**。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。
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爱德华 RV8 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵 RV8
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英国edwa***爱德华rv8真空泵的概述
Edwa*** RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用(包括 GCMS 和其他小工作台式应用)的理想产品。
