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超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。
机械零件加工时，必须保持进给速度均匀、其中应注意的事项如下
1 工件的装夹采用的如果是双顶l尖法或一夹一顶法时，不能将工件完全切断。
2 毛呸表面必须在切断处先车外圆在切断，否则会扎刀。
3 在切断时，如发现切不进现象，必须立即退出刀具，检查安装是否到位，刀具是锐利。
4 切断时，发现机械零件加工表面凹凸不平或有明显扎刀痕迹，应停机检查刀具和装夹是否 符合要求，纠正后再车断
在精密机械零件加工工艺路线中，常安排有热处理工序。热处理工序位置的安排如下：为改善金属的切削加工性能，如退火、正火、调质等，一般安排在机械零件加工前进行。
精密机械零件加工的磨削加工
磨削加工采用的机床有三种主要类型：平面磨床、内外圆磨床及工具成型磨削机床。精加工磨削时要严格控制磨削变形和磨削裂纹的出现，哪怕是工件表面的显微裂纹，否则在后续的工作中也会渐渐显露出来。因此，精密磨削时的进刀量要小，磨削中冷却要充分，尽量选择冷却液介质，加工余量在0.01mm内的零件要尽量恒温磨削。
机械零部件加工的时候，要了解这个零件的具体情况，是某一设备的其中一部分，还是一个单独存在的零件。这个零件的外形尺寸如何，我们的设备能不能加工。还有需要通过哪些工序进行加工，这个之间的先后程序如何。还有就是零件在加工当中，难做到的是哪些方面。另外零件的加工流程和思路，要在脑子里面形成一个过程，看有没有错误。
