系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 Pa。***的泵可以取得10-9 Pa的极限压力，分子泵首要用作超高真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对大气排气，需要装备前级泵，而且其首要功能(极限压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，体系中可充分利用空间的真空环境，省去分子泵的前级泵。
真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，旋片罗茨真空机组，它不见得有一些诸如散热器，冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个***简单的真空抽气系统。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点
应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组：
(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，塑料真空机组，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。
(2) 有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，真空机组，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
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