事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，真空机组，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，大型真空机组，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。
在启动罗茨鼓风机之前，须检查各紧固件及***销的安装质量；检查进、排气管道和阀门等安装质量；检查鼓风机的装配间隙是否符合要求；检查组件的底座四周是否全部垫实，地脚螺栓是否紧固。风机在开车前应在主油箱及副油箱加入润滑油至油标中心位置3mm／2mm，每三个月应换一次润滑油。由于主、副油箱内存的压力，故主、副油箱的上、下油塞均应拧紧，否则会引起漏油。向冷却部通水，冷却水温度不超过25℃，冷却水量10L／rain。全部打开鼓风机进排气口阀门盘动转子，注意倾听各部分有无不正常的杂音。检查电动机转向，必须符合转向标牌所示方向，无油罗茨真空机组，否则风机不能正常排风，还可能出现风叶碰撞现象，水中曝气时，水将反向流人风机，气力输送时会将被输送物吸人风机造成事故。
检查完毕鼓风机的环境及确保仪表电器处于良好状态之后，打开风机的放空阀和出口阀，开启风机。风机正常运转后慢慢关闭放空阀，此时风机压力表升至0.04—0.05Mpa。当要停止曝气时，首先慢慢打开放空阀，关闭出口阀，较后关闭电源。这样罗茨鼓风机就处于关闭的状态。
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