烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是***服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。隧道烘箱又叫流水线烘箱，一般是通过加热方式进行烘干的，没有真空烘干方式，跟流水线似的，一般可以连续工作。
苏州贯觉电热设备有限公司
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