净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。参考两个城市，一个试验证实，相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
净化工程：是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，(21世纪)在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医1药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。目前级别高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。5的灰尘颗粒不能超过1000颗千级无尘车间室内空气参数要求（1）温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5％。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。
净化工程中空气净化处理方案：
净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。