电子束镀膜机部件介绍
镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空专用不锈钢， 厚度≥1 mm）,镀膜室及前开门材质：304真空专用不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
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电子束镀膜有哪些特点？
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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；
★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★ 可沉积金属（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。
