






油旋片真空泵系列:VS-1501;VS-2401;VD-301;VD-401;GLD-136;GLD-201;PVD-180;PVD-360;VSN1501;VSN2401;VDN301;VDN401;GLD-N136;GLD-N201;GLD-N051;GLD-N280;PVD-N180;PVD-N360;
多种真空泵油系列:R-4;R-7;R-80;TM系列油雾过滤器:TM-151;TM-201;TM-401;TM-3;TM-4;
ULVAC真空泵系列:低温泵;分子泵;扩散泵;【ULVAC爱发科VDN401油旋片式真空泵】适用范围::1、镀膜、溅射、离子镀2、气体置换、充填、真空隔热3、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉4、真空枯燥、冷冻枯燥、真空脱气5、检漏设备、真空成形、真空铸造6、真***装、真空吸附、搬送、其它。UTM-50;UTM-150;UTM-300;UTM-500;UTM-1500;UTM-M;UTM-FW/FH Series;F-250;U-250;PBL-02;PBL-04;PBL-06;PBL-10;PBL-14;PBL-20;ULK-04A;ULK-06A;ULK-10A;ULK-14A;PFL-22;PFL-22(TM);PFL-36;PFL-52;PGT-3F;PGT-6F;P***-10B;CEYO-U6H;CRYO-U8H;CRYO-U8H-U;CRYO-U8HSP;CRYO-U10PU;CRYO-U12H;CRYO-U12HSP;CRYO-U16;CRYO-U16P;CRYO-U20P;CRYO-U22H;CRYO-U30H;CRYO-TORR series:CRYO-TORR8;CRYO-TORR10;CRYO-U8HL;CRYO-12HL; 以及一系列真空设备检测仪器等等
维修爱发科真空泵按性能特点和用途分类
(1)低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
(3)高真空泵
限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
不同的主真空泵,其前级泵配置各异,分述如下。
(1)蒸汽流泵前级配置
类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的z大排气口压力下,前级泵需将主泵产生的z大气体量及时抽走,即前级泵的有效抽速必须满足:
Sqgt; pg .S/ pn或Qmax /pn
式中,Sq——前级泵的有效抽速,L/s,和选择高真空泵一样,先由Sq来确定前级泵的抽速,然后再根据该抽速选定泵型;
pn ——主泵前级的临界前级压力,Pa;
Qmax ——所能排出的z大气体量,Pa .L/s;
pg ——主泵允许的z高工作压力,Pa;
S——主泵工作在pg时的有效抽速,L/s。
在选择前级泵时,应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的,但正常使用的泵都是在低于大气压的条件下运转,使泵的抽速下降了,因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线,可参考经验公式
Sp =(1.5~3) S’p
式中,Sp——实际选用的前级泵的抽速;
S’p——计算要求的前级泵抽速。