六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，常压下升华点温度为-63.8℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。我们使用SF6作为绝缘气体是看中了其自身的优越绝缘性，但是六氟化硫微水过多，导致水气结霜会使得绝缘强度下降，直接影响设备的正常运转。
六氟化硫制备：
使SO2在过量的F2中燃烧可生成SF6。反应温度约650℃，产物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要杂质是SO2F2。纯化时将其通过装有水和热的10%KOH溶液的洗涤瓶，后用P4O10干燥。
六氟化硫***吗？这是个“美丽的误会”
六氟化硫***吗？纯净的六氟化硫是一种惰性气体，在电弧作用下会分解，当温度高达4000K以上时，大部分的分解物为硫和氟的单原子。电弧熄灭后，绝大部分的分解产物又重新结合成稳定的六氟化硫分子。其中极i少量的分解物，在重新结合的过程中与游离的金属原子、水和氧发生化学反应，产生金属氟化物及氧、硫的氟化物。目前六氟化硫是应用较为广泛的测定大气污染的示踪剂，示踪距离可达100km。六氟化硫用于电气设备内时，无论是在故障情况下或是在正常的开断电弧作用下，可能分解，产生氧、硫的氟化物和金属氟化物粉末。
经验表明，工作人员在即使是含有非常微量的分解物的环境中，也会感到刺鼻或不舒服的气味，对鼻、口及眼等有明显的刺激。这种反应在有明显中i毒反应之前的几秒钟内就会产生。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它***物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。由于有些***物质是气态存在的，呼吸时有可能进入体内，所以六氟化硫防护需要使用过滤器。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
