传感器使用一段时间后，其性能保持不变化的能力称为稳定性，影响传感器长期稳定性的因素除传感器本身结构外，主要是传感器的使用环境，因此要使传感器具有良好的稳定性，传感器必须要有较强的环境适应能力。
在选择传感器之前，应对其使用环境进行调查，并根据具体的使用环境选择合适的传感器，或采取适当的措施，减小环境的影响，传感器的稳定性有定量指标，在超过使用期后，在使用前应重新进行标定，以确定传感器的性能是否发生变化，在某些要求传感器能长期使用而又不能轻易更换或标定的场合，所选用的传感器稳定性要求更严格，要能够经受住长时间的考验。
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电容式振动传感器是通过间隙或公共面积的改变来获得可变电容，再对电容量进行测定而后得到机械振动参数的，电容式振动传感器可以分为可变间隙式和可变公共面积式两种，前者可以用来测量直线振动位移，后者可用于扭转振动的角位移测定。
电容式加速度振动传感器在操作上与压阻式加速度振动传感器类似，因为它们测量桥接电路的变化，然而它们不是电阻，而是测量电容的变化，传感元件由两个平行板电容器组成，以差分模式工作，它们依靠载波解调器电路或其等效电路产生与加速度成比例的电输出，有几种类型的电容元件，一种类型包含金属传感膜片和氧化铝电容器板，两个固定板将隔膜夹在中间，形成两个电容器，每个都有一个固定板，两个共用隔膜作为可移动板。
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震动传感器利用敏感元件的等效RLC电学模型，可以在同一环境下对加速度传感器进行系统设计，从而优化微机电系统，能够方便研究其振动位移响应，对敏感元件的机械参数进行优化设计，固有频率的设计非常重要。
震动传感器满足待测加速度的频率远远小于固有频率的条件时，可以使可动电极上的输出电压与外界加速度呈线性关系，可动电极上的输出电压再通过后续的读出电路读出，使传感器输出的电压与待测加速度成线性的关系。
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