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SF6气体渗漏的主要原因是：安装工艺水平差，零部件密封表面粗糙工艺粗糙、材料选用不当锈蚀、密封圈老化。
SF6气体密封不严漏气。研究表明，密封不严的原因如下：
①密封面紧固螺栓松动。由于安装质量不佳或振动等原因，可能使密封面紧固螺栓松动，因此导致密封不严而引起漏气。
②密封圈老化。现场经验表明，密封圈的老化速度较快，一般在8—10年内就会腐烂，而失去密封效果。从这个角度而言，SF6断路器的检修周期应比规定的检修周期15~20年要短，其实际检修周期应由橡胶密封圈的老化寿命决定。
电弧作用下六氟化硫气体的分解物如氟化硫，二氟化硫，氟化亚硫酰，二氟化硫酰，四氟亚硫酰等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。氟化硫：常温下为无色气体，***，有刺鼻气味，对呼吸系统有类似光1气的***作用。
纯净的SF6气体无色、无味、无臭、不燃，在常温下化学性质稳定，属惰性气体。但在电力行业，由于六氟化硫气体（SF6)主要是作为绝缘和灭弧介质而广泛应用于高压开关及其设备，在断路器和GIS操作过程中，由于电弧、电晕、火花放电和局部放电、高温等因素影响下，SF6气体会进行分解，它的分解物遇到水分后会变成腐蚀性电解质。尤其是有些高毒性分解物．如SF4、S2F2、S2F10 SOF2、HF和S02，它们会刺激皮肤、眼睛、粘膜，如果吸入量大，还会引起头晕和肺水1肿，甚至致人死1亡。