







如何提高为了提高机器的镀层厚度的均匀性
为了提高机器的镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。为了提高抽气速率,可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此,排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环。
真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计:真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计,真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。成膜控制系统,薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺有哪些优势
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,不但能节省大量的膜材和降低能耗,而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面,已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中,为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中,真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料,如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造,而是采用价格低廉易加工材料,成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温,耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件,既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3~6倍,从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空磁控溅射镀膜机镀膜的方法加镀铝等金属膜,再进行染色,可得到用于工业中的装饰品薄膜。
真空镀膜机在塑料外表上镀铝的作用
真空镀膜机在塑料外表上镀铝的作用 真空镀膜机是***在塑料外表进行蒸发镀铝的专用设备,它成膜速率快,膜层结实,色泽鲜亮,膜层不易受污染,电镀设备可获得细密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层,不发生废液、废水,可防止对环境的污染,是大规模出产的抱负设备。 真空中制备膜层可防止膜料和镀件外表的污染,消除空间磕碰,进步镀层的细密性和可制备单一化合物的特别功用的镀层。为了进步镀层厚度的均匀性,镀在真空室中夹有行星***或旋转运动的设备,如一个行星的运动形式,运动形式的膜均匀性好,镀层的台阶覆盖性能好,承载才能大,可充分利用有用空间的真空镀膜室,是一个运动的常用形式。排气体系通常由机械泵,分散泵,管道和阀门构成。 为了进步泵的流量,能够增加增压器之间的机械泵和分散泵。因而,不仅在较短的时间内低压力以保证疾速的工作循环的排气体系,还需要保证气体的蒸发源和蒸镀工件外表发生疾速的去掉。蒸发体系包含电气设备和加热蒸发源蒸发源。