激光切割表面粗糙度主要取决于下列三个方面:切割系统的固有参数,如光斑模式、焦距等;切割过程中可调节的工艺参数,如功率大小、切割速度、辅助气体类型和压力等;加工材料的物性参数,如对激光的吸收率、熔点、熔融金属氧化物黏度系数、金属氧化物表面张力等。此外,加工件的厚度也对激光切割表面质量有很大的影响。相对而言,金属工件的厚度越小,切割表面粗糙度等级越高。
其中热影响区域指激光切割中,沿着切口附近的区域被加热。同时,金属的结构发生变化。例如,一些金属会发生硬化。热影响区域指的是内部结构发生变化的区域的深度;而凹陷和腐蚀是对切割边缘的表面有不利影响,影响外观。他们出现在一般本应避免的切割误差;如果切割使得部件急剧加热,它会变形。精细加工中这一点尤为重要,因为这里的轮廓和连接片通常只有十分之几毫米宽。控制激光功率以及使用短激光脉冲可以减少部件变热,避免变形。