真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂的沸点以上而控制在油污的沸点以下，使清洗剂汽化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸馏再生装置。
有着独特的真空脱气系统，这样可以增强超声波的威力，并大幅度的提高它的清洁效果。有人会担心零件清洗出来会有烘不干的现象，其实我想说这种担心是多余的，因为碳氢清洗机采用了蒸汽的清洗以及真空干燥，这两种都是在真空环境中进行的，工件可以在真空环境中被快速烘干，并不留下水渍。并且碳氢清洗机可以蒸馏回收碳氢清洗液，因为被真空干燥后的蒸汽可以通过气液分离器冷凝后被回收，这样就做到了零排放，碳氢溶液被循环利用，降低了碳氢清洗机的运行成本。
在市场上出现以来，在我国及亚洲其他***的汽车、电子设备、汽车、精密零部件、热处理等行业中广泛用作臭氧层***物质或氯化溶剂的替代品。尽管碳氢化合物系统在可燃性和干燥性方面不如氯系统，但通过改进清洗设备可以完全补偿。它蒸发损失小，使用量少，运行成本低，对环境无不良影响，清洗性能得到充分保证。因此，深圳超声波清洗机的碳氢化合物体系逐渐成为清洗剂的主流。另外，从ISO14000系列环境管理的角度来看，碳氢化合物除污溶剂逐渐成为明星产品。
