金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。这是因为这些材料远没有金刚石坚硬，当金刚石线与其进行磨削时会很容易将材料磨削成颗粒进而切割。
脆性材料切割?
金刚石线切割机的加工优势便
金刚石线切割机同时适用于导电材料和不导电材料（硬度要比金刚石线小）的切割。因此，金刚石线切割机被广泛用于各种金属和非金属及复合材料的切割，如陶瓷、玻璃、岩石、宝石、玉石、陨石、单晶硅、碳化硅、多晶硅、耐火砖、环氧板、铁氧体、PCB以及建筑材料、生物材料及仿生复合材料等，特别适用于各种高硬度、高价值、易破碎的脆性材料切割。当切割金属或混合型材料或者难于切割的陶瓷材料，切割速度要尽可能慢。
线切割速度
线切割过程中的速度调整：
若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线，进而使金刚石线断开，切割速度的设定没有具体规定，一般根据经验选择。现在，硬脆晶体材料切割方法有金刚石圆锯切割、带锯切割、线锯切割。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整，速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整，若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态，说明所选用的切割速度还可以适当增加，直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的，说明所选用的切割速度适于材料的切割
高速切割设备
切割行程的设置：
切割行程=样品的长度 5mm。为保证将样品切断，通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。当要求对样品进行开槽时，实际切割行程应与开槽深度相同，为保证停止切割时所开槽口深度达到要求，当切割行程达到设定行程时应暂停切割，但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间，从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割，直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。因此张紧机构也要具备飞轮一样的精度，同时要有足够的稳定性及维护性。
