概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真***装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
***的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是***技术设备的制造商所需要的。
订购信息
Edwa***真空泵 EH4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵
EH4200 Industrial
●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000
●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000
EH4200 PFPE*
●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application
●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application
EH4200 Chemical**
●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982
●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935
●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。爱德华过滤器主要作用：真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的一种油过滤装置，主要过滤颗粒杂质粉尘，保持真空泵油质量，提高真空泵使用寿命。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。原装进口爱德华真空泵油新品，***包邮Edwa***爱德华真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐磨性和抗高温性好，泵油使用后不容易乳化与积炭，从而延长换油的时间间隔。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。机械密封维护机械密封润滑应清洁无固体颗粒严禁机械密封在干磨情况下工作。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
