电子束操作及注意事项
①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。?
②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?
③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。?
④蒸发前对材料先预热除气。?
⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。?
⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气
想要了解更多沈阳鹏程真空技术有限责任公司的相关信息，欢迎拨打图片上的***电话！
电子束蒸镀系统的特点
* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
* pocket电子枪
* 电子束源和基片遮板
* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能
* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
* 旋转样品台，提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
* PC全自动控制，具有高度的可重复性
* Labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的***访问设计
* EMO保护以及完全的安全联锁
以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的***联系我们。
双枪电子束镀膜机介绍
电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会发热，然后会发射电子，再采用一定的磁场将其聚集成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜***，当镀膜***被电子束熔化后（有些材料是直接升华），***的分子（原子或者离子）在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！采用晶振膜厚仪如需了解更多电子束产品的相关信息，欢迎关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站或拨打图片上的热点电话，我司会为您提供***、周到的服务。
常用的有将电子束的偏转角制作成270度，、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子枪两种。
期望大家在选购电子束时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电子束的相关资讯，欢迎拨打图片上的***电话！！！
