氦质谱检漏仪主要部件---真空泵的概述与分类
真空泵(vacuum pump)
利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
W型往复式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
氦质谱检漏仪应用于化工管道检漏
化学气体大部分为有***体，对***造成很大的伤害，甚至会出现停止呼吸而。化学气体泄漏事故不仅给公司造成巨额损失，而且给周边村民造成伤害，生态环境也会遭到严重受损。为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。常用的传统气体管道检漏方法，氦质谱检漏仪生产厂家，如气泡法和肥皂法在化工厂等***气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的不二的选择。
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。使用氦气喷枪在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
氦质谱检漏仪灯丝脆断故障
检漏技术在我国经济中占有非常重要的地位，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。
氦质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，便携式氦质谱检漏仪生产厂家，速度快、适用范围广，探索气体***性、无***性、质量轻等优点，是诸多检漏法中有效的方法。
氦质谱检漏仪在使用过程中，真空氦质谱检漏仪生产厂家，常见的故障就是灯丝脆断，氦质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆，国产氦质谱检漏仪生产厂家，再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹，这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶，减少了堆垛层位错能量，降低位错移动的晶界阻抗，从而使位错迁移率增加，促使了钨的固溶软化，此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了氦质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险，铼浓度高时的塑化效应降低。
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