而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点较低，在常压下蒸馏再生是不可能的。真空清洗干燥机的蒸馏再生装置在高真空下使碳氢清洗剂的沸点降低到80℃，使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不断地抽入蒸馏装置，在真空中加热蒸发，再经过冷凝成为清洁溶剂回到清洗槽中，使清洗液始终保持清洁状态。油污则留在蒸馏装置底部，定期排出。隔绝氧气，使碳氢清洗剂失去燃烧的条件。绝大多数碳氢清洗剂闪点都在50℃左右，在我国《常用******的分类及标志》（GB13690-92）中属于高闪点液体。虽然闪点较高，但在高温或有助燃物（如纸和棉絮）的情况下仍有燃烧***。因此控制火险成为其推广使用必须解决的问题。燃烧需要有可燃物、温度和氧气三个必要条件，只要缺少一项，燃烧就不可能发生。在真空状态下氧气含量极低，在清洗、干燥和蒸馏再生的过程中，即使碳氢清洗剂的温度达到闪点以上，由于没有氧气，失去了燃烧的一个必要条件，碳氢清洗剂也不会燃烧，从而保证了使用安全。
比一般的超声波清洗设备的功能要齐全很多，一般的超声波清洗设备是常压状态下清洗的，常压状态的清洗有利也有弊，普通的常压超声波清洗通常用来清洗比较规矩的零件，即不含或者只有一两个盲孔的零件，那些具有深孔的零件无法在常压状态下被清洗。在这个快速发展的时候，需要零件都要做到精工级别，其对于清洗的工艺要求也会更高，普通的常压超声波清洗根本无法跟上各工厂对于精工零件的清洗工艺，真空碳氢清洗机可以弥补这个空缺。可以提高劳动效率：超声清洗能在生产流水线一次性进行从套圈清理到烘干的过程，降低了中间商、减少了劳动效率，消除了清理工运送、手工制作擦活的体力活。真空碳氢清洗机能清理几何图形样子繁杂的物块和各种各样有微孔板、埋孔、窄缝等的零配件。因而，真空超声碳氢清洗备受众多电子器件、机械设备、轻工、电子光学、电镀工艺、永磁材料等制造行业的亲睐。如：滚动轴承、仪表盘及可信性规定高的商品。
有些工件用肉眼确实无法分辨出来是否干净，但污染太严重的工件，只用扫一眼，即可知道。正当业务员仔细观察的间隙，客户突然看到正在运行的单槽多极碳氢清洗机，他好奇的看着实验人员在帮其他客户试清洗工件，随后将目光转移到业务员身上，好奇地问：“能否也将我的工件用这台设备也进行试清洗实验呢？”，业务员咧嘴一笑，说：“不是不给你试清洗，而是我有更适合清洗你这些电池钢壳的方案给你。”客户一听，喜出望外。
