




超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般gt;5,超纯水设备,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定安全地运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
纯化水设备系统运行要注意哪些事项?
开机操作之前一定要检查所有安装是否正确,预处理设备是否冲洗干净,水设备,电控系统是否连接正确,打开进水阀、浓水阀、排空阀、高压泵上的排气阀,排除系统内的空气后关闭排空阀,纯水设备供应商,开启高压泵,检查系统是否有渗漏现象,打开主要电源开关开机,如果使用的是全自动的系统会根据自身运行状况自动开关机,观察电控示意图,首先自动冲洗系统进行冲洗60秒或根据实际需要后对于1次使用的新机器要打开浓水阀低压冲洗约60分钟,然后可以逐渐升压,系统自动转入运行状态,检查所有泵以及管道的连接点以防漏水把所有漏水的地方修好,慢慢调节调压调节阀直到高压表上的读数值为1—1.0MPa,纯水流量将会随压力增加而增加,一般按设备产水量调节纯水流量严禁将浓水阀门关闭运行,观察电导仪上指数值符合要求后,方可引进纯水箱记录每天的进水浓水压力值和浓水,纯水流量值及电导仪指数值以便以后的分析,如果系统使用的是超低压膜调节压力应为1—1.0MPa,一般高压调节阀1次启用时调节好后可维持一段时间不变。
反洗工艺简介
反渗透设备因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差,造成横轴断裂等设备故障,并且膜的种类不同对进水水质要求也有所不同。膜两侧有一个压力差,如水处理设备中应用比较广泛的格栅除污机,纯水设备价格,因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差,反渗透设备造成横轴断裂等设备故障,还不包括因为维修影响运行造成的损失,严重影响了环境保护***效益,还会使反渗透膜表面极易结垢,采用反渗透膜壳可以有效的保护膜元件。
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