食品厂洁净室的装饰施工应采用无灰尘和开裂的材料。施工过程中应特别注意各种接缝的处理措施,防止裂缝和灰尘,并应使用密封剂填充接缝。接缝缝隙小于0.5毫米。让洁净室管理人员进行静态审核以识别潜在问题以及可能导致问题的原因非常重要。建筑装饰与门窗的缝隙应密封在洁净室正压面上。二是食品厂洁净室墙面和屋面抹灰应采用***的抹灰标准,维修时间应充分,不应使用因热、湿等原因造成的变形、开裂、覆1盆子、粉化等材料。


防微振的重要性体现在各行各业:例如感光化学工业,彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度仅19μm,在涂布过程中由于微小的振动将使乳剂涂层厚薄不匀,在胶片上产生横纹;在惯导技术方面,为了提高的打击精度,准确命中目标,需要对陀螺仪、加速度计及组合制导(、导航、地形匹配及景物匹配)系统的精度提出高的要求,这种惯导系统的调试和检测,必须在极为宁静的环境中进行;对于微电子工业,线宽0.1μm(4G DRAM)产品已进人市场,硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格。电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂,民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。

在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64 MDR***,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0.035μm以下;环境微振动值应控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振动会引起对位不准,影响产品的成品率。洁净实验室设计要求给洁净室加压,使洁净室保持在大气压的静压下,并设置空气压力梯度,使空气从清洁区域向非清洁区域流动。其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制以及理化实验等都需要对微振动进行控制。

