无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。
无尘车间-洁净厂房的竣工验收，是在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查，洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查，按要求进行功能检测和调试。
洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的质量验收记录。
对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒的***及化学***，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
***室净化简易***室的怎样设计比较好？简易***室主要建立在农村、山区或条件较差的地方。简易***室虽然利用旧有的房屋就地取材，因陋就简，但必须符合***的无菌（fungus)(意思:没有活菌)原则。地点选择要尽可能（maybe)选择僻静清洁处。***室装修确保***台洁净度达标，一般多采用垂直层流式效果较好 层流***室是一个"正压"环境，其空气压力根据其不同区域（如***间、无菌准备间、刷手间、嘛醉间和周围干净区域等）洁净度不同要求而不同。
