氦质谱检漏仪
全自动液晶触摸彩屏显示，实现了智能自动化，操作方便、简单可靠。
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主要技术指标
1. 可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s
3. 启动时间：≤3min
4. 响应时间：≤1.0s
5. 检漏口的压力：1000Pa
6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A
7. 机械泵抽速：4L/S
8. 工作环境：5-40℃
9. 相对湿度：≤80%
10. 外形尺寸：600(W)×550(D)×1000(H)
11. 重量：65kg
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。
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氦质谱检漏仪
在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。
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