材料相容性好。碳氢清洗剂中不含水分和氯、硫等腐蚀物，对各种金属材料不会产生腐蚀和氧化。碳氢清洗剂又属于非极性溶剂，对大部分塑料和橡胶没有溶解、溶胀和脆化作用。5、可彻底挥发无残迹。碳氢清洗剂是非常纯净的精制溶剂，在常温和加热状态下均可完全挥发，没有任何残留。6、不***环境。碳氢清洗剂可以自动降解，清洗废液可以放入燃煤或燃油锅炉中焚烧，焚烧生成物主要为CO2和水，对空气无污染。碳氢清洗剂中不含氯，对臭氧的***系数为零。
真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂的沸点以上而控制在油污的沸点以下，使清洗剂汽化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸馏再生装置。
清洗零件一般利用了超声波的空化作用，空化作用也被称之为空蚀***，这使得碳氢清洗液与液之间的相界面相互之间加快、分散化与在汽泡周边造成髙速的流，使沾附在被清洗零件表层上的废弃物容易摆脱掉，这就是碳氢清洗机的超声波清洗中的空蚀的乳化作用和翻转搅拌***，并且，正确的的挑选碳氢清洗设备的超声清洗加工工艺能够明显地提升清理及实际效果。
