事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,小型真空机组,通常在真空系统中串联一个高真空泵,真空机组,比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。
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