




一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。
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真空镀膜操作规程
1.在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。
2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电......1.在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。
2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。
3.在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害***。
4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除***粉尘。
5.***物品要妥善保管,以防。
6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。
7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。
8.工作完毕应断电、断水。
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真空镀膜加工技术的一般术语及工艺
2.1.8激光束蒸发:通过激光束加热蒸发材料的蒸发。
2.1.9间接加热的蒸发:在加热装置(例如小舟形蒸发器,坩埚,灯丝,加热板,加热棒,螺旋线圈等)中使蒸发材料获得蒸发所须的热量并通过热传导或热辐射方式传递给蒸发材料的蒸发。
2.1.10闪蒸:将很少量的蒸发材料间断地做瞬时的蒸发。
2.2真空溅射:在真空中,惰性气体离子从靶表面上轰击出原子(分子)或原子团的过程。
2.2.1反应性真空溅射:通过与气体的反应获得理想化学成分的膜层材料的真空溅射。
2.2.7热阴频溅射(三极型溅射)hotcathodehighfrequencysputtering:借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电,气体放电产生的离子,在靶表面负电位的作用下加速而轰击靶的溅射。
2.2.8离子束溅射ionbeamsputtering:利用特殊的离子源获得的离子束使靶的溅射。
2.2.9辉光放电清洗glowdischargecleaning:利用辉光放电原理,使基片以及膜层表面经受气体放电轰击的清洗过程。
2.3物***相沉积;PVDphysicalvapordeition:在真空状态下,镀膜材料经蒸发或溅射等物理方法气化,沉积到基片上的一种制取膜层的方法。
