未定期对真空泵进行维修，设备管理者根据真空泵资料和同行业与企业的多年经验，从制度上规定设备或车辆按一定周期进行规定内容的大、中、小维修或一、二、三***。建议把故障分为运转故障和性能故障，运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，大功率超标等。真空泵运行到规定周期后不管真空泵状况如何，都要执行进行规定内容的维修，这种维修队消除故障隐患和真空泵在运行周期中不处大故障有好的保障，但经济性不佳。意识这些维修规范的制定以在恶劣条件下维修间隔内不处故障为前提，因而在正常条件下会有一定余量，贰拾某些还是健康的零部件也会被换掉，三是一些已磨合好的运动副换了新品需再磨合，效率会下降。
莱宝真空泵维修前的准备工作，真空泵需放置在地面平整处，确保环境通风干燥，真空机组抽气口与被抽系统连接好后，确保密封严密，没有***现象。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。确保真空泵内的油位及油杯中的润滑油符合要求。连接好电源线和接地线试运行，确保不存在其他不安全因素时再正常运行真空泵。 先启动冷却水泵，确保水路循环正常;然后启动真空泵，真空泵内的油能正常运行时，真空泵连续运转。当真空表面达到极限时，可打开进油阀，直止真空。关闭高真空蝶阀，关闭机械增压泵，关闭真空泵，按急停按钮，控制电源关闭，关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。 真空泵启动后，需首先确认电动旋转方向与罩壳上箭头指向一致，然后检查真空泵空载真空度，不小于96kPa为正常。真空泵作业开始即应计时量水，观察机组真空表，并应随时做好记录。真空泵作业后，应冲洗水箱及滤网的泥砂，并应放尽水箱内存水。
近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。真空泵维修说明事项，泵的极限压力是在真空计（麦氏真空计）测得的分压强值，如用热偶真空计、电阻真空计等全压强计测，其真空值至少要低一个多数量级。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。
