怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）, 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。
流量积算仪的特点有哪些？
流量积算仪,显示采用大屏幕,全点陈液晶带背光，中文显示,通过简单编程测量饱zhi和dao蒸气,过热蒸气和液体及一般气体的流量参数,实现压力自动补偿,温度自动补偿,温压自动补偿等,同时可测量热水，饱和蒸气和过热蒸气的热参数,实现压力自动补偿热焓等还可以查询日报表，月报表和停电时间记录,能带定量控制，是国内比较***流量积算仪。
它属于二次仪表，就类似于信号处理输出装置。不能单独的称为流量计。用在计算流量的工程上，常用如蒸汽流量计量等。
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流量积算仪——型号定义
仪表采用了***的模块化设计。流量信号输入、通讯、变送等功能可根据用户实际需要配置不同的模块来实现，配置灵活方便。仪表可允许安装5个模块。任何一台仪表的压力和温度输入方式都可以自由设置，所以温度和压力的输入方式与型号无关。
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