氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时，还会直接影响真空工艺条件，造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致，所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统，各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪性能特点
· 采用进口的多口分子泵
· 操作简单，通常只需进行两键操作（检漏和放气）
· 自动校准
· 自动调零
· 自动量程切换
· 双灯丝自动切换
· 铱丝离子源，使用寿命更长
用原装进口检漏仪专用的分子泵。
有效降低了检漏仪本身的噪音，提高了检漏仪的灵敏度。
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氦质谱检漏仪
高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
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