




氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时,还会直接影响真空工艺条件,造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致,所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统,各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
支持正压检漏,负压检漏
自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底
机器的性能支持7*24小时长时间在线测试
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件,若直接与检漏仪相连,氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去,使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统,提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门,复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵,前级系气镇式机械泵。
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