氦质谱检漏仪逆扩散原理
被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视氦质谱检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率
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氦质谱检漏仪
氦在空气中及真空系统残余气体中的含量（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。
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