氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时，还会直接影响真空工艺条件，造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致，所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统，各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是借鉴了国外的***检漏技术以及多年质谱生产经验设计而成。氦质谱检漏仪的关键部件均采用进口部件，性能稳定可靠。氦质谱检漏仪不但灵敏度高，并且操作方便，能够进行双灯丝自动切换、系统自动调零、自动校准及自动量程切换，目前已经达到水平。
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氦质谱检漏仪
氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰
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