




净化车间门窗上的缝隙分为固定缝隙和活动缝隙。性质不同在净化车间门、窗上所占比例也不同。净化车间门、窗密闭采取的气密措施也不完全相同。净化车间门窗缝隙的处理一般来说,净化车间门窗大都共同具有三类构造缝隙。净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。一类是樘的组合拼接和樘与净化车间门洞间的安装缝隙;二类是樘与开启扇之间的搭接缝隙;三类是玻璃或其他芯板的安装缝隙。通常所提的净化车间门的空气泄漏无非是由上述三种缝隙产生的问题。
非工作时间采用值班风机运行,关闭系统中的送回风机。非工作时间,送风机、回风机均停止运行,为了使系统停止运行后,避免室外污染空气通过安徽车间净化的围护结构缝隙和由新风口经回风道进入安徽车间净化,***室内的洁净度而设置值班风机;值班风机的风量一般是按维持室内要求的正压值所需的换气次数来考虑的,值班风机运行中所消耗的电能和处理空气所消耗的冷、热量要比系统运行时小得多,设有值班风机的净化空调系统在非工作时,尽量使用值班风机运行,以达到更好的节能效果。机组所有进出管路全部保温,阀门、接头保温要留出维护操作部位,如采用蒸汽盘管,在蒸汽管口处须安装疏水器,排水通畅。
鉴于洁净室自身的特点,我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求,综合分析疏散人、疏散路线、疏散距离等因素,通过科学计算,选出很佳疏散线路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一个安全的疏散结构体系,使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。此外,由于洁净室多处于密闭状态,自然采光条件差,必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明,并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向,迅速撤离事故现场。电子厂特别是微电子和光电行业的电子厂,对大面积云南洁净车间净化的生产环境要求不仅是:建筑围护结构、结构、空气、水、气、溶剂等原料,而且还要有声、光、电、磁、振等环境。