间隙对真空泵极限压力的影响
间隙对真空泵极限压力的影响
旋片式真空泵的间隙指的是顶点间隙和断面间隙。用水冷却的进口真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。间隙对旋片式真空泵的极限压力影响很大。间隙的存在是必然的，这跟旋片泵生产过程中的加工精度和装配精度有关，也是功能设计的需要。间隙过大会导致旋片泵高压腔的气体向低压腔泄器，严重影响旋片泵的极限压力;小的间隙虽然能降低旋片泵的极限压力，但会导致摩擦力的上升，继而引发功率、磨损和散热等一系列问题。所以确定一个合理的间隙很重要。间隙取值
并非越小越好，一般情况下，间隙的取值时除了考虑润滑和泄漏外，还要考虑热膨胀的原因
莱宝真空泵油的性能：
。机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量很少，以防蒸发。BOXER系列镀膜机进行的加工包括从经典的宽带减反膜到吸光层（防晒）。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。（2）合适的粘度和良好的粘温特性：真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。（3）良好的热氧化安定性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解。而扩散泵往往处于很高的环境温度（可达200℃）下工作，使系统内蒸汽压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。（4）良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。另外，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性（水分离性能）。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。（5）较高的闪点：主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸汽压。（6）较低的极限压力：极限压力是真空泵油重要的使用性能指标，以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。
近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。
多级罗茨干泵工作过程中的传热模型,包括泵体外壁与大气的自然对流换热模型、泵壁内部的热传导模型、泵体内壁与气体之间的强迫对流换热模型、泵体内气体与转子的强迫对流换热模型和转子轴上的热传导模型。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。同时, 通过接触式和非接触式测温方法, 对各级泵体内外壁、气体和转子温度进行了实验测量, 并将温度测量结果作为边界条件, 使用ANSYS 软件对多级罗茨干泵泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析, 并采用热- 结构耦合分析对其热变形进行了计算, 得到转子轴和泵腔的热变形量, 为进一步计算干泵在运行时受热产生的间隙变化提供了计算依据。
